日立超高分辨場發射掃描電子顯微鏡Regulus系列

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高靈敏度光譜儀

"Regulus系列"繼承了現有機型的觀察和分析性能，配備SU8200系列的低噪音冷場發射電子槍，可以獲得高穩定的束流。通過優化電子光學系統，Regulus8240/8230/8220在1 kV條件下分辨率提高到0.7 nm，Regulus8100的分辨率提高到0.8 nm。

日立超高分辨場發射掃描電子顯微鏡Regulus系列產品信息

超高分辨率冷場發射

為充分發揮超高分辨的能力，放大倍率也從過去的100萬倍提升到200萬倍

?沿用"SU8200系列"的冷場發射電子槍

?采用電子束在Flashing后出現的高亮度穩定區域作為穩定觀察的區間，使得低加速電壓條件下兼備高分辨觀察和分析的優質性能

?(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)

?采用污染小、高真空樣品倉

?運用能量過濾器(選配)，可觀察到多種成分對比度

項目	內容
二次電子分辨率	Regulus 8100：0.7 nm（加速電壓15 kV）；0.8 nm（著陸電壓1 kV） Regulus 8220/8230/8240：0.6 nm（加速電壓 15 kV）；0.7 nm（著陸電壓 1 kV）
著陸電壓	Regulus 8100：0.1～2 kV Regulus 8220/8230/8240：0.01～20 kV
放大倍率	Regulus 8100：20～1,000,000倍 Regulus 8220/8230/8240：20～2,000,000倍
樣品臺控制	Regulus 8100：3軸馬達臺（可選5軸馬達臺） Regulus 8220/8230/8240：5軸馬達驅動

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