XQ20-GⅡ 大口徑立式激光平面干涉儀

產(chǎn)品介紹：

在傳承XQ15-GⅢ激光平面干涉儀的實(shí)用性、耐用性的特點(diǎn)。可更廣泛適用于大批量生產(chǎn)單位的生產(chǎn)車間大口徑平面及棱鏡平面度檢測(cè)、微小楔角測(cè)量，更適合于大平板生產(chǎn)流水線快速篩選的應(yīng)用。

技術(shù)參數(shù)：

1．標(biāo)準(zhǔn)平面（A面），工作直徑D1=Φ250mm，平面的面形偏差小于0.045μm(λ/15)

2．第二標(biāo)準(zhǔn)平面（B面），工作直徑D2=Φ250mm，平面的面形偏差小于0.045μm(λ/15)

3．準(zhǔn)直系統(tǒng)…………………………工作直徑Φ250mm，焦距 f = 580mm，波象差<λ/15

4．工作室尺寸……………………………………………1100×1100×350mm

5．光源規(guī)格……………………………………激光ZN250（He－Ne）（632.8nm）。

6．儀器的外形尺寸……………………………… 1400×1250×1560mm(高)

7．儀器質(zhì)量…………………………………………150kg