三維光學(xué)顯微鏡

ContourGT InMotion 三維光學(xué)顯微鏡具有*、可靠、全面的表面分析功能，能夠?qū)崟r(shí)表征運(yùn)行中的動(dòng)態(tài)MEMS器件及其他微器件的形態(tài)。這種臺(tái)式顯微鏡系統(tǒng)運(yùn)用白光干涉的原理，能夠以非接觸的方式測(cè)量激勵(lì)狀態(tài)下的MEMS器件表面三維形貌特征，測(cè)量范圍從0.1nm到10mm。ContourGT InMotion 將Bruker頻閃技術(shù)與工業(yè)的Vision® 數(shù)據(jù)采集/分析軟件結(jié)合，能夠同時(shí)實(shí)現(xiàn)微器件的靜態(tài)測(cè)量和動(dòng)態(tài)分析，測(cè)量頻率范圍從11Hz到2.4MHz。ContourGT InMotion融合了靈活的分析，便捷的操作與*的技術(shù)，是表征特征頻率和測(cè)量形態(tài)變化、表面粗糙度、臺(tái)階高度、關(guān)鍵尺寸的理想解決方案，有助于提高器件的質(zhì)控水平和產(chǎn)量。

全面的 MEMS測(cè)量解決方案

§ 快速、準(zhǔn)確、非接觸式的微器件靜態(tài)/動(dòng)態(tài)3D表征

§ 11Hz到2.4MHz超寬測(cè)量頻率范圍，完整周期內(nèi)

全面的器件動(dòng)態(tài)分析頻率、振幅和相位響應(yīng)表征

§ 縱向分辨率小于1nm

§ 在動(dòng)態(tài)和靜態(tài)模式下準(zhǔn)確測(cè)量0.1nm至10mm高度范圍內(nèi)的特征形貌

源自數(shù)十年持續(xù)的硬件創(chuàng)新

ContourGT InMotion采用Wyko®數(shù)十年干涉技術(shù)創(chuàng)新的結(jié)晶，為您提供的光學(xué)形貌測(cè)量功能和的可靠性。*的驅(qū)動(dòng)電路和簡(jiǎn)潔的桌面式平臺(tái)結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)了的操作穩(wěn)定性。

具有技術(shù)的頻閃照明系統(tǒng)能夠?qū)崟r(shí)捕獲并測(cè)量樣品運(yùn)動(dòng)周期內(nèi)的動(dòng)態(tài)變化，測(cè)量頻率范圍從11Hz到2.4MHz。最終的測(cè)量結(jié)果是樣品三維運(yùn)動(dòng)的慢鏡頭視頻。

此外，您還可以選擇獲得R&D 100大獎(jiǎng)的Through Transmissive Media (TTM)模塊。此模塊能夠透過樣品表面的保護(hù)層、氣氛腔及其他色散材料（厚度

專為MEMS設(shè)計(jì)的軟件

ContourGT InMotion采用Bruker廣受贊譽(yù)的Vision數(shù)據(jù)采集/分析軟件，使系統(tǒng)的操作和數(shù)據(jù)的分析非常簡(jiǎn)便、直觀和靈活。基于模板自動(dòng)匹配的SureVision軟件能夠幫助用戶可靠的定位特征形貌并測(cè)量面內(nèi)和面外的形貌變化。

定制分析軟件能夠迅速便捷的采集并表征特征頻率、形狀/形變、位移、表面粗糙度、臺(tái)階高度、關(guān)鍵尺寸、其他形貌特征以及用戶自定義的測(cè)量參數(shù)，具有的精度和準(zhǔn)確性。