螺桿真空泵

下載LGB產品樣本(pdf)

　　概述：

　　LGB系列變螺距螺桿式真空泵是我公司根據市場需求自主研 發的技術的干式真空泵。因螺桿真空泵無需油潤滑或水密封，泵腔內無油，因此螺桿真空泵在半導體、電子工業中要求無油潔凈真空的場合以及化工制 藥中對溶劑的回收工藝等具有不可比擬的優勢，可廣泛替代旋片式真空泵，滑閥 式真空泵，水環式真空泵，水噴射真空泵，往復式真空泵，羅茨水環真空機組等 。

　　螺桿真空泵的一個導程相當于一級泵，多個導程的螺桿真 空泵相當于多級泵串聯，相對于爪式真空泵、多級羅茨真空泵等多級串聯的干式 真空泵而言，因螺桿真空泵的各級之間無內部通道，而是直接將氣體從吸氣側推 送至排氣側，因此在抽除可凝性氣體、帶有粉塵及顆粒物的氣體時不易堵塞且清 洗方便。

　　我公司變螺距螺桿真空泵具備以下特點：

　　· 結構緊湊，占地面積小。

　　· 結構簡單，維修方便。泵的維修及保養無需專用 工具。

　　· 單泵即可達到30Pa~5Pa的極限壓力，工作范圍較 寬。

　　· 根據系統工況配用合適的羅茨真空泵可組成干式 真空泵機組，大大提高低壓區的抽氣速率并減小功耗。

　　· 泵腔內無油，對被抽系統無污染，可獲得潔凈真 空。

　　· 泵腔內無油，容易實現對溶劑的回收。

　　· 泵腔及螺桿表面有鍍鎳層、哈氏合金涂層、PFA 涂層、PEKK涂層、不銹鋼+PFA復合涂層等可供選擇，可抽除水蒸汽、氨氣、甲醇 、丙酮、二氯甲烷等多種介質。

　　· 因工作過程中無廢油、廢水的排放，對環境無污 染。

　　· 對冷卻水的要求較低，對于泵的冷卻，普通的循 環水(脫鹽水)即可滿足要求，且冷卻水量較小。

　　· 清洗方便。如泵腔內進入污物需清洗時，只需打 開泵的吸排氣口，開啟泵后從泵的吸氣口加入適量的水或清洗劑即可將泵清洗干 凈，無需拆卸整臺泵。

　　· 因螺桿加工工藝復雜且需根據客戶使用工藝配套 復雜的電控系統，因此螺桿真空泵價格較高。

　　· 相比等螺距螺桿真空泵，變螺桿螺桿真空泵更適 合于在較低壓力下(低于絕壓30kPa)連續工作，且運行功率低，發熱量小，噪音小 ，在抽除酯類等介質時不易積炭。

　　· 采用了我公司的技術(號： Z·2015 2 0592475.4)對螺桿進行了冷卻，可將排氣溫度進一步降低30~50 ℃，在特殊工況下不易積炭;因排氣溫度較低，杜絕了排氣側機械密封被高溫氣體 燒毀的現象。

　　· 采用了內壓溢流閥結構，消除了吸入壓力較高時 的過壓縮現象，減小了高壓力工作區的功率損耗。

　　· 采用了下側排氣結構，避免了凝液回流對螺桿真 空泵脈動排氣時的沖擊。

LGB系列變螺 距螺桿真空泵性能參數表
 

注：因螺桿真空泵在抽除帶有粉塵的，易積炭的，有腐蝕性介 質的工況下必須做相應的針對性方案，請務必在訂貨時提供螺桿真空泵的使用條 件：a.被抽除的介質組成;b.工作壓力;c.是否有積炭傾向;d.抽除介質中是否有粉 塵;e.抽除介質中是否夾帶液體。

工作原理：

　　如圖所示，螺桿真空泵內裝有一對平行的互相嚙合的螺旋 狀的轉子(1和2)，其中一件轉子的旋轉方向為右旋，另一件為左旋。兩個轉子在 泵體(9)內通過一對齒輪(3)保持同步反向旋轉。轉子與轉子之間、轉子與泵體之 間沒有磨擦且保持一定的間隙，兩個轉子與泵體之間形成了密封腔(4)，密封腔的 個數等于轉子的螺旋圈數。

　　兩個轉子在按圖中方向旋轉時，與吸氣口(5)相連的密封腔 的空間逐漸變大，氣體被吸入并被傳送到排氣側，排氣側的密封腔(6)空間在旋轉 過程中逐漸變小，氣體被壓縮到排氣口(7)。

　　長時間運轉時需向泵體及端蓋的夾套(8)內通入適量的冷卻 水以對泵進行冷卻。

　　因壓縮熱主要在排氣側(6)產生，為了充分冷卻轉子，在多 數工況下可以將適量的空氣或其它合適的氣體通過摻氣口(10)導入泵腔內。

　　為使螺桿的溫度進一步降低，通過(11)(12)在螺桿內部通 入冷卻水，可使螺桿溫度降低30~50℃，從而使兩件螺桿之間保持較為恒定的間隙 ，保證穩定的性能。對高溫下容易腐蝕泵的，高溫下易積炭的工況，采用螺桿內 部冷卻后可明顯提高泵的使用壽命。

　　因變螺距螺桿真空泵在氣體傳輸過程中有內壓縮，在對系 統進行預抽真空或長時間在較高壓力(例如大氣壓力~-0.05MPa)區間工作時，變螺 距螺桿真空泵容易出現過壓縮現象，我公司的LGB真空泵可將已經達到排氣壓力的 氣體從(13)排出，從而降低泵的功率損耗。

外形尺寸圖 ：

性能曲線圖 ：