Model 760 高精度真空計

Setra Model 760 電容壓力計是為精確的、可重復的真空測量而設計的壓力傳感器。滿量程范圍從 10Torr 到1000Torr。測量單位可以是 Torr，mbar/hpa，kpa 或psia。Model 760 的工作電壓是 15VDC，輸出 0~10VDC或 0~5VDC，輸出與壓力成線性關系，而且與氣體成分無關。

電氣連接件可以是工業標準 15 針 D 型插座或 6 位接線端子板。采用金屬外殼、巨涌和 ESD 抑制元件以及輸入輸出的 RFI 過濾等技術，Model 760 具有出眾的 EMI/RFI 性能。 Model 760 有一個完整的滑面，很容易提供有精確的零點調節和量程調節的多匝電位計。Inconel? 材質適用于全部濕原料所以可測量腐蝕性氣體，另外可提供不同類型的壓力和真空接頭。

Model 760 中高精度的壓力傳感元件 VactronTM pressure sensor，是在 Setra 技術可變電容傳感技術基礎上發展來的。在敏感元件有一個饋入裝置組件支持一個鄰近膜片后表面的圓電極。電極和膜片在一個低壓接近真空的空間內組成了一個可變電容。這一電容的變化被 Setra的集成電路檢測并被轉換成高精度的線性直流信號，該集成電路是根據西特技術負荷平衡原理設計的。

Model 760 采用革新的傳感設計獲得了出色的零點穩定性和大氣壓非敏感性。Model 760 傳感器包含了不易脆的或合成的部件，形成了與陶瓷式結構相似的電容式壓力計。

■    出眾的 EMI/RFI 性能
■    耐腐蝕的 Inconel 設計
■    出色的熱穩定性

特性
·    高精度：標準 ±0.25% of Reading ，可選 ±0.15%
·    小巧緊湊的結構
·    多種壓力連接和電氣連接方式
·    符合 CE 標準

應用

·    半導體過程工具和設備      ·    實驗室和研究開發         ·    實驗和測量      ·    度量             ·    分析化學系統

注：Setra 堅持嚴格的質量標準 ANSI-Z540-1。此產品的標定源于 NIST。