超高精度激光干涉儀

優點

好處

理想參考：由于采用物理參考，因而沒有傳輸誤差

1. 省時：因為無需改變大量參考

2. 節省成本：因為無需購買昂貴的參考裝置

比標準性能傳輸的菲索球面干涉儀有超過100倍更高的精度

節省時間和成本：因為不需要中間儀器和附加的方法來提高精度

D7型激光干涉儀比其它激光干涉儀可檢驗更多的表面特征

由于在安裝和光學系統上市之前更好地揭示了制造誤差，從而節省了成本

穩定性和堅固性

1. 省時：因為的重復性提供準確的測試數據，無需反復地證明測試結果

2. 節省成本：因為D7型激光干涉儀不需要特殊的(工作)環境條件

應用范圍寬

節省時間和成本：由于緊湊和簡單的設置，可在實驗室或工廠（現場）垂直和水平方向使用D7型激光干涉儀

沒有可追溯的誤差

由于在測量非球面和自由形體時簡化的設置，從而節省時間和成本

性能

精度

≤0.6 nm (λ/1000)

RMS波前重復性

≤0.23 nm (λ/2800)

數據采集時間

10ms

光學

系統數值孔徑(NA)

0.6 (F數 0.83)

系統成像數值孔徑(NA)

0.55 (F數 0.91)

成像變焦系統

軟件界面控制4 x光學變焦

成像

具有偽影去除選項的相干（無散射玻璃）

CCD相機

0.5k × 0.5k (可選：1k x 1k, 2k x 2k or 5k x 5k，也可按照客戶要求)

高分辨率

λ/8000

像素深度（數字化）

12位

曝光時間

最少40μs

傳感器像素分辨

500×500，直徑≥50mm

聚焦控制

電動及軟件界面控制

光學聚焦范圍

±2米

激光器

激光類型和波長

穩定的He-Ne激光器，波長：632.8nm

激光功率

2mW（更高功率可根據用戶的要求提供）

偏振

可調節測試表面性質

相干

≥100米

系統

數據采集

相移干涉測量（PSI）或靜態

PSI方法

PZT電子相移

準直范圍

±2.5度

準直類型

雙點

準直十字線

計算機產生