BROOKS流量控制器SLAMF53S2GAB3K2A2

BROOKS流量控制器SLAMF53S2GAB3K2A2

希而科工業(yè)控制設(shè)備（上海）有限公司

希而科貿(mào)易（上海）有限公司

上海市浦東新區(qū)王橋路999號(hào)中邦商務(wù)園1034-1035幢

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一、BROOKS品牌介紹

?? 品牌概述

Brooks Instrument 是一家美國工業(yè)儀表品牌，專注于：

?? 流量測量與控制技術(shù)（Flow Measurement & Control）

其核心產(chǎn)品覆蓋：

* 質(zhì)量流量控制器（MFC / Mass Flow Controller）

* 質(zhì)量流量計(jì)（MFM）

* 科里奧利流量控制器

* 轉(zhuǎn)子流量計(jì)（Rotameter）

* 壓力控制器與真空測量設(shè)備

是全球工業(yè)流量控制領(lǐng)域的頭部品牌之一。 

?? 品牌發(fā)展歷史

* 1946年成立，最初叫 Brooks Rotameter Company

* 起家產(chǎn)品：玻璃轉(zhuǎn)子流量計(jì)（Rotameter）

* 1950s–1980s：擴(kuò)展至工業(yè)流量計(jì)全系列

* 逐步進(jìn)入控制領(lǐng)域（半導(dǎo)體、制藥）

* 2012年加入 ITW集團(tuán)，進(jìn)入全球工業(yè)體系  

??  行業(yè)對(duì)標(biāo)品牌

Brooks 與以下品牌競爭：

* MKS Instruments

* HORIBA

* Bronkhorst

* Alicat Scientific

* SMC（部分領(lǐng)域）

二、BROOKS產(chǎn)品經(jīng)營范圍

?? 核心產(chǎn)品體系

?? ① 質(zhì)量流量控制器（MFC，核心產(chǎn)品）

* 熱式 MFC（Thermal Mass Flow Controller）

* 科里奧利 MFC（Quantim 系列）

?? 應(yīng)用于：

* 半導(dǎo)體工藝氣體

* 實(shí)驗(yàn)室氣體控制

* 高純氣體配比系統(tǒng)

?? ② 科里奧利流量控制器

* 直接測“真實(shí)質(zhì)量流量"

* 可測氣體 + 液體

* 高精度閉環(huán)控制（Quantim 系列）

?? ③ 轉(zhuǎn)子流量計(jì)（Rotameter）

* 經(jīng)典玻璃 / 金屬管流量計(jì)

* 工業(yè)現(xiàn)場廣泛使用

?? ④ 壓力與真空產(chǎn)品

* 壓力控制器

* 真空計(jì)

* 流體輔助控制模塊

??  技術(shù)優(yōu)勢

? 精度

尤其在低流量氣體控制領(lǐng)域。

? 半導(dǎo)體級(jí)應(yīng)用能力

全球大量半導(dǎo)體設(shè)備使用其 MFC。

? 多技術(shù)路線并存

熱式 + 科里奧利 + 壓力控制一體化。

? 高穩(wěn)定性與重復(fù)性

適合長周期工業(yè)過程。

?? 主要應(yīng)用行業(yè)

?? 半導(dǎo)體制造（核心市場）

* CVD / PECVD / ALD 工藝氣體控制

?? 制藥行業(yè)

* 精密配氣 / 配液

?? 實(shí)驗(yàn)室與科研

* 氣體分析系統(tǒng)

?? 化工與能源

* 過程氣體控制

* 反應(yīng)釜進(jìn)料控制

?? 新能源

* 電池材料工藝控制

三、BROOKS熱銷產(chǎn)品型號(hào)

四、BROOKS流量控制器SLAMF53S2GAB3K2A2產(chǎn)品介紹

?? 產(chǎn)品概述

Brooks SLAMF53S2GAB3K2A2 屬于美國 Brooks Instrument（布魯克斯） 的：

?? SLA5800 / SLAMF 系列數(shù)字式熱式質(zhì)量流量控制器（MFC）

該系列是工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)級(jí)氣體流量控制設(shè)備，廣泛用于：

? 半導(dǎo)體工藝氣體控制

? 實(shí)驗(yàn)室精密配氣系統(tǒng)

? 工業(yè)自動(dòng)化氣體流量調(diào)節(jié)

? 真空及分析設(shè)備

屬于 SLA5800 平臺(tái)的定制配置型號(hào)（MF = Multi-Function / Modified Flow variant）。

??  產(chǎn)品類型定位

該設(shè)備本質(zhì)為：

?? 熱式質(zhì)量流量控制器（Thermal Mass Flow Controller）

功能包括：

* 精確測量氣體質(zhì)量流量

* 內(nèi)置比例閥閉環(huán)控制

* 支持多氣體標(biāo)定

* 數(shù)字/模擬信號(hào)輸出

?? 核心優(yōu)勢

? ① 工業(yè)級(jí)高精度控制

適合半導(dǎo)體與實(shí)驗(yàn)室級(jí)工藝。

? ② 多氣體兼容

支持 O? / N? / Ar / H? 等（需標(biāo)定）。

? ③ 數(shù)字化程度高

支持工業(yè)總線（Profibus / EtherCAT 等）。

? ④ 高穩(wěn)定性

長期漂移小，適合連續(xù)工藝運(yùn)行。

? ⑤ SLA5800成熟平臺(tái)

全球半導(dǎo)體行業(yè)廣泛使用。

??  典型應(yīng)用行業(yè)

?? 半導(dǎo)體制造（核心應(yīng)用）

* CVD / PECVD

* 蝕刻氣體控制

* 載氣與反應(yīng)氣體配比

?? 制藥與生物工藝

* 發(fā)酵氣體控制

* 精密配氣系統(tǒng)

?? 實(shí)驗(yàn)室與分析設(shè)備

* 氣相色譜供氣

* 反應(yīng)實(shí)驗(yàn)控制

?? 工業(yè)過程控制

* 特種氣體流量控制

* 真空系統(tǒng)配氣

五. 希而科介紹
希而科（SilkRoad24）的發(fā)展起源于1999年，最初在德國布倫瑞克市成立德國Silkroad24 GmbH，“希而科"為“Silk"的中文音譯。其創(chuàng)始人CHEN GANG擁有同濟(jì)大學(xué)研究生及德國達(dá)姆施塔特大學(xué)工科碩士學(xué)位，曾在德國西門子汽車部門及德國大眾沃爾夫斯堡總部任職近12年，對(duì)德國工業(yè)自動(dòng)化、大規(guī)模生產(chǎn)及物流領(lǐng)域有著深入的了解。

2005年，希而科商務(wù)咨詢（上海）有限公司在上海成立，初期作為瑞士、德國 Ahlborn、Knick、Honsberg 等多家歐洲企業(yè)的中國代理，積累了服務(wù)中國工業(yè)自動(dòng)化行業(yè)的經(jīng)驗(yàn)，并確立“以客戶需求為出發(fā)點(diǎn)"的服務(wù)宗旨。2006年，為響應(yīng)中國客戶對(duì)德國工業(yè)品零配件的需求，希而科貿(mào)易（上海）有限公司在浦東成立，依托德國總部資源及與當(dāng)?shù)毓?yīng)商的長期合作優(yōu)勢，在代理品牌之外，開展德國工業(yè)品備品備件代理采購業(yè)務(wù)，通過德國源頭拼單、集中倉儲(chǔ)、歐盟集中報(bào)關(guān)等創(chuàng)新模式，大幅降低客戶采購附加費(fèi)用。

2014年，希而科工業(yè)控制設(shè)備（上海）有限公司成立，公司規(guī)模擴(kuò)大至近百人，遷入中邦商務(wù)園2000平方米辦公大樓。此后，公司持續(xù)推進(jìn)智能詢報(bào)價(jià)體系建設(shè)，致力于滿足客戶在無倉儲(chǔ)情況下對(duì)德國工業(yè)品零配件價(jià)格、貨期的預(yù)知與供應(yīng)需求。2019年，希而科成為德國海外商會(huì)聯(lián)盟成員企業(yè)，進(jìn)一步強(qiáng)化行業(yè)合作與服務(wù)能力。

長期以來，希而科秉持“讓德國先進(jìn)技術(shù)高效、經(jīng)濟(jì)地進(jìn)入中國，推動(dòng)中國自控工業(yè)與世界直接溝通"的宗旨，在德國工業(yè)品備品備件供應(yīng)領(lǐng)域保持穩(wěn)定發(fā)展。

代理品牌：Honsberg、Seneca、Ahlborn、AirCom、ADZ、AK Regeltechnik、ASA-RT、BTR、Beck、Proxitron、EGE、Fischer、FSG、Funke、Fuhrmeister、Hennig、Klaschka、Hohner、Holthausen、G.Bee、Lambrecht、Pantron、PMA、SCHMIDT Technology、Stoerk、Winkelmann、Wiesemann & Theis…