不銹鋼氣動高真空法蘭球閥

一、產品概述

不銹鋼氣動高真空法蘭球閥，產品為GUQ系列氣動高真空球閥，采用304優質不銹鋼精密鑄造閥體，搭配齒輪齒條式氣動執行機構，以壓縮空氣為動力源驅動內部球體做90°旋轉，實現真空管路的快速通斷控制。產品專為高真空工況設計，采用真空專用密封結構，泄漏率極低，可穩定維持系統高真空度，同時具備優異的耐高溫性能，適用溫度可達250℃，適配各類高低溫真空工藝場景。

不銹鋼氣動高真空法蘭球閥，產品采用三片式分體結構，安裝拆卸便捷，便于后期維護與密封件更換；不銹鋼閥體內壁光潔、放氣量小、潔凈度高，可滿足半導體、光伏、真空熱處理等行業對真空管路的嚴苛要求，是高真空自動化管路系統的核心控制閥門。

二、型號編制與閥體標識說明

1.型號含義

本系列產品型號遵循真空閥門編制標準，以GUQ-16(F)304為例，各字符含義如下：

2.閥體標識說明

閥體與執行器帶有清晰規格標識，各標識含義如下：

• 通徑標識：標注公稱通徑規格，如16、25，對應DN16、DN25或KF16、KF25真空接口標準。

• 材質標識：標注304/CF8，代表閥體為304不銹鋼材質。

• 執行器標識：A、B為氣缸氣源接口，規格G1/4"，分別對應開關兩路氣路。

• 流向特性：真空球閥為雙向密封結構，正負壓工況均可適配，無嚴格安裝流向限制。

三、工作原理與結構特征

1.工作原理

閥門以潔凈壓縮空氣為動力源，通過氣動執行器內部齒輪齒條機構，將氣缸直線運動轉化為閥桿旋轉運動，帶動高真空專用球體閥芯同步旋轉90°：

• 當球體內流道與管路對齊時，閥門全開，氣流通暢，流阻極小，不影響系統抽真空效率。

• 當球體內流道與管路垂直時，球面與真空專用密封座緊密貼合，閥門全關，阻斷氣流，維持系統真空度。

• 產品密封結構針對真空工況優化，可實現極低的泄漏率，保障系統高真空度穩定；同時支持正壓、負壓雙向工況，適配抽真空、充氣等多種工藝流程。

2.核心結構特征

（1）AT系列氣動執行機構

采用高強度鋁合金壓鑄氣缸，表面陽極氧化處理，防腐耐用；內置高精度齒輪齒條傳動機構，輸出扭矩穩定，啟閉響應迅速，可快速完成真空管路的通斷切換。

標配頂部開度指示帽，直觀顯示閥門開關狀態；可配套真空專用電磁閥、限位開關、定位器等附件，實現遠程自動化控制，適配真空系統自控需求。

（2）三片式304不銹鋼閥體

閥體采用304優質不銹鋼精密鑄造，內壁經過精密拋光處理，表面光潔度高，放氣量小，不易積存雜質，滿足高真空系統的潔凈度要求。

采用三片式分體結構，通過多組螺栓緊固，密封可靠；維護時可直接拆解中體，無需拆除兩端管路，即可檢修更換內部密封組件，大幅降低真空系統的維護難度與停機時間。

（3）高真空專用密封副

密封件采用真空專用耐高溫材質，具備低放氣、耐溫高、彈性好的特點，適配高真空與高溫工況，適用溫度250℃。

密封面經過精密研磨配對，貼合精度，額定泄漏率可達1.3×10??Pa?L/S，可穩定維持高真空環境；采用浮動密封結構，壓力/真空度越高，密封貼合越緊密，雙向密封性能優異。

（4）高精度真空球體閥芯

閥芯采用同材質不銹鋼實心球體，球面經過超精密研磨拋光，表面光潔度高，啟閉摩擦小，磨損量低，使用壽命長。

球體與閥桿采用防脫結構連接，傳動可靠，避免真空負壓沖擊導致閥芯移位、脫落，保障運行安全性。

（5）標準真空連接接口

連接端采用真空行業標準法蘭結構（活套法蘭/KF法蘭），尺寸符合真空行業通用標準，互換性強；配合專用真空密封圈使用，連接密封可靠，安裝拆卸便捷，可直接對接標準真空管路與設備。

四、主要技術參數