高精度電渦流傳感器SMT-9700 半導體晶片位置的測定（平板影印術）

高精度電渦流傳感器SMT-9700

半導體晶片位置的測定（平板影印術）

SMT是一款專門為客戶定制的OEM產品，可測非導磁體和鐵磁材料，有1、

2或3通道可配電渦流探頭。擁有埃米級分辨率，符合CE和RoHS標準，尺

寸小巧，并可配13種電渦流探頭。同時材料、線性、分辨率、帶寬各種

性能可自行優化。 

目標

      1對于在應用于半導體晶片的成產的平板影印術過程中，精確測定Z軸位置，精度保持在亞原子水平。

      2 保持高分辨率和可重復性。

      3 避免不良的影響，例如 抖動，磁滯，以及熱漂移等一些列在其他階段處理中發生的情況。

高精度電渦流傳感器解決方案 

 在精確控制Z軸高度的過程中，晶片所在的位置必須精確地在能源的焦平面上。Kaman系統可以準確測量Z軸的位置，并且提供了模擬和數字兩種輸出信號，以防止超出可承受范圍。

高精度電渦流傳感器特點

     1 類型：SMT-9700

     2 非接觸性：應用渦電流的技術，每一個傳感器均可以無接觸地測量到目標體的位置。

     3 高分辨率：系統可分辨出1納米的位置改變。

     4 可重復使用。

     5 應用廣泛。

詳情請訪問：

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