鎢燈絲掃描電子顯微鏡將各種成像和分析模式與新的*自動化相結合，為同類產品提供完整的解決方案。它非常適用于需要高分辨率，樣品靈活性和易于使用的操作界面的工業研發，質量控制和故障分析應用。Prisma E成功獲得了極為成功的Quanta SEM。

鎢燈絲掃描電子顯微鏡

產品參數：

1    電子光學：

            1.1  發射源：鎢燈絲（高性能電子光學鏡筒，雙陽極熱發射電子槍）

            1.2  固定式物鏡光闌，無需手動調整使用方便

            *1.3      加速電壓：200V – 30kV，自動256級偏壓設計

            1.4  放大倍數：6× - 1000000×

            1.5  極靴內有一路單獨抽真空系統，保證在低真空和環境模式下電子槍高真空和不受污染，延長燈絲壽命

            1.6  電子束束流：可達到的大值不小于2µA，并連續可調

            1.7  使用工廠預對中燈絲更換方便

2    真空系統

            2.1  1個250 l/s分子渦輪泵+1個機械泵

            2.2  高真空模式：＜1×10-5 Pa

            *2.3      低真空模式：10 – 130 Pa

            *2.4      環境真空模式：10 – 2600 Pa

            *2.5      高真空模式下的換樣時間：≤150秒

            *2.6      低真空及環境真空模式下的換樣時間：≤270秒

3    分辨率

            3.1  高真空模式下的分辨率

                  3.1.1           30 kV下3.0 nm (二次電子)

                  3.1.2           30 kV下4.0 nm (背散射電子)

                 *3.1.3         3 kV下8.0 nm (二次電子)

         **3.2  環境真空模式下的分辨率（以英文樣本公布的參數為準，并作為驗收指標）

               **3.2.1       30 kV下3.0 nm (二次電子)

                  3.2.2           具備獨立的環境真空/超低真空模式二次電子探頭

Prisma E材料科學SEM

對于需要*性能和易用性的多用戶實驗室而言，完整的SEM。